干式螺杆式真空泵是一种工作容积作回转运动的容积式机械真空泵。气体的压缩依靠容积的变化来实现，螺杆泵的一对转子在机壳内作回转运动来达到容积的变化。其工作容积在周期性扩大和缩小的同时，空间位置也随之变更。干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此干式螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。
一、干式螺杆式真空泵使用
开机前应做好所有的准备工作，以免开机后造成麻烦。
1、检查。检查干式螺杆式真空泵是否安装横平竖直。地脚螺钉是否拧紧。电动机连接线是否接驳正常。电动机转向是否正常，如果反向运转的话，应马上改正。进气管道、排气管道是否密封。冷却水管道是否接好、漏水。***是否安装好。进气口阀门是否安装好。准备，观察泵运转方向是否和泵上所标识的是否一样，不一样，马上改正。每次启动螺杆真空泵，都须使泵先空运行 20-30 分钟，将泵内和***内的液体排出，直至排气口。无液体排出，为泵正常运行作准备。打开冷却水阀门。
2、启动和运转。打开进气阀门，关闭进气口。全部做好，无异常并启动泵。运转中的各项数据正常，对泵保护有很重要。由于干泵的特殊结构，其运转以后的电流和机械泵、罗茨泵等不一样。干式螺杆式真空泵在极限压力情况下，电流会大，属正常情况，达到电机功率的 2 倍安培。在同大气情况下会小，也属正常情况，达到电机正常的安培左右。
3、停机。关闭进气口阀门，打开进气口处进气阀。打开排气口阀门，切断泵电动机电源，停机。关闭冷却水水源。关闭进气口处阀门。关闭排气口处阀门。放尽泵内的冷却水，以免在冬季或 4oC 以下的时候，泵内的水冻坏泵体，致使泵不能运行。观察冷却水排放时的温度。
二、干式螺杆式真空泵清洗
净化和清洗处理，是为了除去在压缩过程中残留在干式螺杆式真空泵内的气体和压缩蒸汽。当干式螺杆真空泵重新启动时，这些残余物质有可能导致电机过载，这些物质可能产生过多的摩擦负载或损坏螺杆或泵体。所以在泵内积相当数量的不洁物质的情况下，泵内要清除干净。
蒸汽冲洗就是一种去除残余压缩气体物质的有效方法。如果积聚残余压缩物质时，请确保干式螺杆式真空泵不会给电机旋转产生太大压力。特别是对一些活泼性的物质，如低聚物、单体、聚合物、树脂等正确冲洗加以清除，有很好的效果。净化和清洗的目的，是螺杆真空泵运行以后，粘性物质集聚在泵内，如果不及时清洗和净化，可能致使泵运行后电机负载加大，电机电流增加，造成泵过快损坏。或者腐蚀性气体集聚在泵内，对造成泵的过流部分部件的镀层脱落，对泵产生影响.净化和清洗物质有二种，一种是惰性气体，如氮气，氩气等。一种是蒸汽。净化和清洗的时机有二种，一种是运行前，一种是运行后，前后都必不可少。无论是惰性气体还是蒸汽，其压力应该在 1 公斤/cm2，不能过高，也不能过低。过高将损坏骨架油封，过低将不起作用。操作，将 1 公斤/cm2 压力的惰性气体或蒸汽，从阀门 处接入。关闭进气口阀门 ，打开充气阀门 ，打开阀门 。启动泵，30 分钟左右。时间视泵内集聚物质决定。停机以后，用手转动泵，是否顺畅，顺畅的话，说明完成，不顺畅的话重复 2-3 次。然后关闭充气阀 ，启动泵再运行 20 分钟，排空泵内的液体，直至排气口无液体排出为止，停机。关闭阀门，启动泵，检查泵的运行是否正常。此时也应该打开冷却水。干式螺杆式真空泵空运转，清洗和净化过程完成后，需要对泵进行 20-30 分钟的空运转，以彻底排空泵内的残留物，以免影响下一次的正常运转。对泵的净化和清洗，绝对不能使用上述方法以外的任何一种方法进行，否则将会产生更坏的结果。
三、清洗物质
1、一般来讲，对泵内的不洁物质进行清洗使用的是 99.99%干空气或者是氮气。这是最有效的物质。
2、如果以上的物质无法对泵内的不洁无清洗的话，我们还建议使用和不洁物有分解作用的液体（只要这些液体不是腐蚀性的），都可以使用。清洗方法如上所述。